又到了講述干式真空泵相關知識點的時間了，為了加深大家對于干式真空泵的認識，那么接下來我們再為大家講述下干式真空泵的應用吧，對此請看下面的闡述吧：
1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；
4）在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5）用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。
本期的主要內容是這些了，希望大家對于干式真空泵的認識更為的徹底及充分吧。
