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      簡述干式真空泵的應用

      2021-08-08 14:04
          又到了講述干式真空泵相關知識點的時間了,為了加深大家對于干式真空泵的認識,那么接下來我們再為大家講述下干式真空泵的應用吧,對此請看下面的闡述吧:
          干式真空泵
       
      1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
      2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
      3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;
      4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
      5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。
         本期的主要內容是這些了,希望大家對于干式真空泵的認識更為的徹底及充分吧。

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